检测项目
泄漏率检测类：
- 静态泄漏率：测量值≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s（参照ISO 27894）
- 动态泄漏率：真空度维持≥10⁻⁵ Pa，检测周期≤30min
- 氦气渗透率：渗透系数≤5×10⁻¹² m²/s
- 压力衰减测试：衰减速率≤0.5 Pa/min（GB/T 19943）
- 真空度稳定性：波动范围±0.1% FS
- 系统升压率：升压值≤10⁻³ Pa/h
- 法兰密封力：最小密封压力≥10 MPa
- O形圈压缩率：压缩量25%-30%（参照ASTM D1414）
- 密封面平整度：粗糙度Ra≤0.8 μm
- 气体渗透系数：氦气渗透≤10⁻¹⁰ cm³/cm²·s·Pa
- 真空兼容性：材料放气率≤10⁻⁶ Pa·L/s·cm²
- 吸附脱附率：脱附时间≤60s
- 抽气速率评估：速率≥100 L/s
- 极限真空度：达到值≤5×10⁻⁸ Pa
- 残留气体分析：浓度≤1 ppm
- 温度循环泄漏：-40°C至150°C循环，泄漏变化≤10%
- 振动测试泄漏：振幅5g，泄漏率增加≤20%
- 湿度影响泄漏：RH 95%，泄漏变化≤15%
- 焊缝气密性：泄漏点密度≤0.1点/m
- 热影响区强度：屈服强度≥250 MPa
- 真空钎焊完整性：孔隙率≤0.5%
- 密封圈寿命测试：循环次数≥10⁶次
- 阀门开关泄漏：开关后泄漏率≤初始值120%
- 法兰螺栓预紧力：预紧扭矩≥50 N·m
- 化学腐蚀泄漏：酸性环境泄漏变化≤5%
- 氧化膜完整性：膜厚≥10 μm
- 应力腐蚀速率：腐蚀深度≤0.01 mm/year
- 泵体泄漏检测：内部泄漏≤10⁻⁷ Pa·m³/s
- 油封渗透率：油蒸气渗透≤10⁻⁶ g/cm²·s
- 极限压力维持：维持时间≥24h
检测范围
1. 真空泵系统： 包括旋片泵、分子泵及涡轮泵，重点检测泵腔密封界面泄漏率及油封渗透性能
2. 真空阀门组件： 涵盖球阀、闸阀及蝶阀，侧重阀座密封力测试与开关动态泄漏分析
3. 真空管道网络： 不锈钢及铝合金管道，检测焊缝气密性与弯头连接处压力衰减
4. 真空容器设备： 反应釜、真空室及储罐，核心验证整体泄漏率与壁厚穿透缺陷
5. 密封圈材料： 氟橡胶、丁腈橡胶及金属密封件，重点评估压缩永久变形与气体渗透系数
6. 法兰连接系统： 凸缘法兰、盲板法兰及快卸法兰，检测螺栓预紧力一致性及密封面平整度
7. 真空测量仪表： 真空计、压力传感器及规管，验证零点漂移与测量稳定性
8. 焊接结构元件： 包括真空钎焊件及激光焊接接头，专注焊缝孔隙率与热影响区强度衰减
9. 真空镀膜设备： 溅射靶材及镀膜腔体，检测真空维持能力与环境污染物渗透
10. 低温真空装置： 液氮冷却系统及超导设备，侧重温度循环泄漏与材料收缩适应性
检测方法
国际标准：
- ISO 27894:2020 真空技术泄漏检测方法（采用氦质谱法）
- ASTM E515-21 密封件气泡测试标准（使用压力衰减法）
- ISO 1608-3:2022 真空泵性能测试规范（测量抽气速率）
- ASTM F2338-22 真空系统压力维持测试（标准升压率测量）
- ISO 10060:2018 真空容器焊缝检测（氦气示踪法）
- GB/T 19943-2023 真空泄漏检测方法（等效ISO 27894，但精度要求±0.5%）
- GB/T 34521-2021 真空系统密封性能试验（压力衰减周期缩短10%）
- GB/T 33644-2020 真空泵极限压力测定（与ISO差异：测量温度范围-20°C至50°C）
- GB/T 32710.6-2018 真空阀门检测规范（开关泄漏测试增加振动条件）
- GB/T 30262-2022 真空材料放气率测定（方法类似ASTM，但湿度控制更严格）
检测设备
1. 氦质谱检漏仪： INFICON ELT3000型（灵敏度≤5×10⁻¹² Pa·m³/s，响应时间≤2s）
2. 真空压力衰减测试仪： VACUTEST VP-200型（压力范围10⁻¹ Pa至10⁵ Pa，分辨率0.01 Pa）
3. 密封力测试机： ZWICK Z050型（载荷范围0.1 kN-50 kN，精度±0.1%）
4. 残余气体分析仪： PFEIFFER QMG220型（质量范围1-200 amu，检测限≤1 ppm）
5. 真空系统校准装置： EDWARDS VSC-500型（真空度≤10⁻⁸ Pa，稳定性±0.05%）
6. 气体渗透测试仪： GTR-TECH GPT-100型（渗透系数检测范围10⁻¹⁴至10⁻⁶ cm³/cm²·s·Pa）
7. 环境模拟测试舱： ESPEC TSB-52型（温度范围-70°C至180°C，湿度控制20%-98% RH）
8. 振动疲劳试验台： SHIMADZU EHF-UV100k2型（频率范围5-2000 Hz，振幅±5g）
9. 焊缝探伤仪： OLYMPUS EPOCH 650型（超声波频率5 MHz，缺陷分辨率0.1 mm）
10. 真空泵性能测试台： LEYBOLD SOGEVAC SV300型（抽速测量范围1-1000 L/s，精度±1%）
11. 材料放气率测定仪： KURT J. LESKER LPM-101型（测量限≤10⁻⁹ Pa·L/s·cm²，温度控制±1°C）
12. 真空镀膜腔体检测仪： VEECO INSTRUMENTS DC-100型（真空维持测试≤10⁻⁶ Pa，镀膜均匀性分析）
13. 低温泄漏测试系统： CRYOMECH PT-415型（温度下限-196°C，泄漏率检测≤10⁻¹⁰ Pa·m³/s）
14. 密封面粗糙度仪： MITUTOYO SJ-410型（测量范围Ra 0.05-10 μm，精度±0.01 μm）
15. 真空计校准器： MKS INSTRUMENTS 670型（压力校准范围10⁻⁴ Pa至10⁵ Pa，精度±0.2%）
北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】
报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期：7~15工作日，可加急。
资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试：支持定制化试验方案。
售后：报告终身可查，工程师1v1服务。
